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貝克曼庫爾特便攜式空氣顆粒計數器MET ONE 3411概述
貝克曼庫爾特MET ONE 3411便攜式空氣顆粒計數器
MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業界領xian的 ISO 21501 數據準確性和再現性，是業內潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。
應用領域：
專應用于半導體行業的空氣顆粒計數：
– 潔凈室驗證監測
– 潔凈室的分級
– ISO14644潔凈室驗證
– 潔凈室顆粒物監測
– 生產過程的連續監測
– 顆粒污染源的排除過程
– HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
– 過濾器掃描
– 高壓氣體監測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應氣體，流量會自動調整
貝克曼庫爾特便攜式空氣顆粒計數器MET ONE 3411特點
★ 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染
★ 熱插拔電池-百分bai確保儀器長時間連續運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機
★ 測試向導(Test Wizard)能使您在組織潔凈室時讓合規性更容易得到保證
可在監控您的半導體生產環境時節省時間并消除錯誤
★ 順序采樣系統
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統部署低成本的現場監控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
★ 靈活的通訊方式——設置簡單，數據傳輸方便
供選擇的無線，以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統，或者客戶已有監控軟件，以便減少文書工作
★ 直觀的用戶界面
簡便的區域，位置和運行參數的配置和復制，節約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數設置錯誤，并節省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃!
★ 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
于滿足特殊顆粒計數要求，儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。
